ĐỒNG HỒ ĐO ÁP SUẤT CHÂN KHÔNG

Công nghệ chân không được ứng dụng nhiều trong sản sản xuất công nghiệp như công nghiệp sản xuất giấy làm nước sôi ở mức <100oC, công nghiệp thực phẩm bảo quản sản phẩm, công nghiệp đúc khuôn làm nhẵn mặt khuôn, hay trong sản xuất đèn, sản xuất gương, sản suất điện tử và nhiều lĩnh vực khác…

Vì vậy, việc theo dõi giám sát áp suất rất quan trọng ảnh hưởng đến chất lượng sản phẩm.

Đồng hồ đo áp suất chân không hay còn gọi là đồng hồ đo áp suất âm hay chân không kế là sản phẩm đo áp suất âm rất cần thiết trong việc kiểm tra giám sát trong công nghệ chân không.

Đồng hồ đo áp suất chân không

Đồng hồ đo áp suất chân không dùng để đo áp suất thấp hơn áp suất khí quyển.

Một số loại chân không kế

Chân không kế BOURDON

Chân không kế Bourdon

Được thiết kế bên trong là 1 ống uốn cong thành cung tròn (ống Bourdon). 1 đầu được kết thông với môi trường cần đo đầu còn lại liên kết với 1 hệ thống cơ và kim chỉ thị như hình cấu tạo chân không kế Bourdon.

Cấu tạo áp kế bourdon

Do áp lực từ môi trường đo trong ống Bourdon làm cho ống co lại hay duỗi ra làm đầu ống di chuyển như (1) kéo theo sự chuyển động của bánh răng (2) làm quay kim hiển thị áp suất. Bạn có thể tham khảo thêm bài viết NGUYÊN LÝ Đồng Hồ Đo Áp Suất Ống Bourdon.

Chân không kế dạng màng

Áp kế dạng màng

Chân không kế dạng màng là dạng áp kế có màng ngăn cách ly giữa môi trường cần đo áp suất và áp kế. Màng ngăn là màng trung gian nhận trực tiếp áp suất từ môi trường đo và tác động lên cơ cấu của áp kế

.Cấu tạo áp kế dạng màng

Áp kế dạng này thường đo được áp suất  từ 1mbar đến 2000mbar.

Chân không kế dạng điện dung

Nguyên lý áp kế điện dung

Chân không kế dạng điện dung là áp kế  hoạt động dựa trên nguyên tắc đo điện dung của hai bản cực của tụ.

Một bản cực được kết vào màng, bản cực còn lại được cố định. Áp suất được đo dựa vào giá trị điện dung của tụ điện. Khi có áp suất thay đổi sẽ kéo theo sự thay đổi khoảng cách của bản cực làm cho điện dung cũng thay đổi theo.

Loại áp kế này thường được dùng để đo áp suất khí quyển.

Áp kế Pirani

Áp kế Pirani

Áp kế Pirani là loại áp kế dựa trên đặc tính dẫn nhiệt của chất khí để làm áp kế.

Cấu tạo áp kế Pirani

Áp kế pirani sử dụng cầu wheatstone. Một ống ở áp suất cố định chế độ chân không cao. Ống còn lại được đưa vào môi trường cần đo áp suất vào trong ống. Khi các phân tử khí ở ống cần đo chạm vào dây tốc và mang đi năng lượng nhiệt , mất năng lượng nhiệt mạch phản hồi cung cấp năng lượng bù cho sự mất năng lượng đó. Số điện cần để bù cho sự mất nhiệt độ đó hiển thị cho áp lực cần đo.

Áp kế Pirani thường được đo trong vùng áp suất cao 760 đến 10-2 torr. Độ chính xác của áp kế Pirani là không cao vì đặc tính dẫn nhiệt của mỗi loại khí là khác nhau và thay đổi phi tuyến theo áp suất.

Ngoài ra còn có các loại đồng hồ đo áp suất chân không khác như áp kế penning , áp kế dạng ion hóa Cathode nóng…

 CHÚC BẠN THÀNH CÔNG!

Phạm Hữu Tâm

Kỹ sư Cơ Điện tử – Chia sẻ kinh nghiệm đo áp suất.

Bạn đang muốn mua đồng hồ đo áp suất chân không Click vào đây


...